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晶圓表面瑕疵檢測|自動化瑕疵檢測儀

文章出處：網(wǎng)責(zé)任編輯：作者：人氣：-發(fā)表時間：2021-07-20 22:28:00

晶圓是通過硅錠一片片切割而來，硅錠的瑕疵不在此一一細數(shù)，本文主要講述晶圓在切割后產(chǎn)生的瑕疵。晶圓在切割完成后需要進行移動以及保存，在操作的過程中如果保護措施未做足就很容易在其表面留下劃痕或者污漬，還有可能在加工時在晶圓表面留下一些塵屑和污漬，這會導(dǎo)致晶圓會被誤判為不良品或者繼續(xù)使用后發(fā)生不良情況。晶圓可以進行后續(xù)的修復(fù)工序，但是如何檢測和發(fā)現(xiàn)晶圓的表面瑕疵則成為了一個大問題，用人工檢測的方式會花費大量的時間以及精力，所以使用自動瑕疵檢測儀進行晶圓表面的瑕疵檢測勢在必行。

?？扑?/font>瑕疵檢測機采用的是流水線設(shè)計，可以手動調(diào)節(jié)檢測速度，配合晶圓加工生產(chǎn)線完成自動化檢測，還可以根據(jù)實際需求調(diào)節(jié)晶圓瑕疵的檢測精度完成不同的瑕疵同時檢測的要求。瑕疵檢測系統(tǒng)采用的機器視覺算法，將工件的物體輪廓由工業(yè)相機形成彩色圖像，面特征數(shù)字建模抽取全部邊緣輪廓，進行分析工件表面特征機器視覺算法匹配直接輸出NG或OK信號，對比傳統(tǒng)的人工檢測節(jié)省大量的時間與精力。