工件真圓度、圓柱度的測量與評估在高精密光學加工、汽車制造、航空航天應用、軸承制造、硬盤驅動器、MEMS和半導體器件、納米技術等領域極為重要。然而除了真圓度、圓柱度、同軸度、位置度等形位公差的檢測，很多工件往往還有其他的外形尺寸，如長、寬、高、槽寬、孔徑、角度、圓弧長度等元素需要測量。因此，很多人是針對軸承類工件的測量時會選用三次元測量儀。

           
   1、三次元測量儀對圓柱滾子軸承的測量
   圓柱滾子軸承具有摩擦轉矩極小的特性，因而適合高速運轉。此類軸承還具有很高的徑向負荷承載能力。圓柱滾子軸承通常用于機床、傳動裝置、振動機和軌道車輛的輪組軸承。

   滾道和滾動組件的圓度和波紋度非常重要。通常，可使用三坐標測量儀測量這些特性。三坐標測量儀配置有的測量軟件， 在分析一般幾何特性的同時，還可以分析軸承滾道和滾動組件的截面形狀。

   2、三坐標測量儀對球面滾子軸承的測量

   一般，球面軸承具有外溝道，此溝道是球面的一部分，因此這些球面軸承能夠在內部自動對齊。 每個滾子均呈彎曲狀，其彎曲角度與旋轉方向成直角，而滾子與內外溝道相對緊密地結合在一起。這些外形尺寸的測量均可以使用三坐標測量儀或三次元影像測量儀來進行檢測。